當前位置：四方光電（武漢）儀器有限公司>>氣體傳感器>> Gasboard-2061紅外氣體傳感器 半導體行業薄膜沉積工藝
| 輸出信號 | 其他 | 線性度 | ±1%F.S |
|---|---|---|---|
| 制作工藝 | 其他 | 重復性 | ±0.5%F.S |
| 檢測原理 | NDIR | 檢測氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
產品名稱：紅外氣體傳感器
產品型號：Gasboard-2061
紅外氣體傳感器產品概述
紅外氣體傳感器產品特性
（1）使用NDIR技術，多氣體監測支持(SiF4、CF4、SF6、NF3、CO2等氣體)
（2）響應時間快，高靈敏度
（3）無耗材
（4）模擬/數字通信
（5）模塊化設計，便于集成
紅外氣體傳感器技術參數
| 檢測原理 | NDIR |
| 檢測氣體 | WF6、CF4、SF6、NF3、CO2 |
| 量程 | 1~264ppm(0~200mTorr) |
| 重復性 | ±0.5% |
| 線性 | ±1%F.S. |
| 檢測限 | 1ppm |
應用領域
半導體行業薄膜沉積工藝CVD設備的EPD氣體檢測
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